超精密ラップ盤・ラッピングマシン | 大型部品・難削材加工はPLMseries

定盤サイズφ2000mm。大型部品やR面サファイアなどの
難削材加工に威力を発揮する超精密ラップ盤/ラッピングマシンPLMseries。


メータサイズでもサブミクロンの回転精度。 ラップ盤の常識を覆す超平面、高能率加工を実現。 超精密ラッピングマシン PLM SERIES

セラミックス部品、SiC、R面サファイアなどの超精密ラップ加工事例

セラミックス、サファイアを中心に数多くの実績。
研磨材メーカも絶賛する平面度、高能率加工を実現。

■セラミックス部品の超平面ラッピング加工

大口径のセラミックスも、サブミクロンの平面度、シングルナノオーダの面粗さでラップ加工が可能。

■C面・R面サファイアウェハの超精密ラップ加工

研削では鏡面化が難しいサファイアもサブミクロンの平面度、Ra1nm以下の面粗さで仕上げが可能。実績多数です。

■SiCの超高能率ラッピング加工

タ難削材の代名詞ともいえる単結晶SiCウェハも従来の装置にはない能率と平面度でラップ加工。

■結晶化ガラス基板の超能率ラップ加工

高硬度なガラス材料も高能率で、品位高くラップ仕上げ。
大面積の加工にも対応可能です。


特長
ラップ盤は加工レートが遅く、
平面度が出ないという常識は捨てて下さい。

1.フェーシング精度1μm以下を実現。
 驚くほどの平面精度、加工レート。

圧倒的なテーブル回転精度。メータサイズの定盤であっても1μm以下の平面度でフェーシングが可能。超平面な定盤と高精度な回転運動により、遊離砥粒が効果的に作用し、従来にない高能率な加工を実現します。

2.繰り返し再現性高く、超高品位な加工を
 実現する高剛性・超低振動構造。

摩擦や磨耗がなく、隙間が極小な非接触多面拘束油静圧案内面をテーブル軸に採用。高精度な回転と同時に優れた振動の減衰性を実現。さらに超高剛性なフレーム構造により常に平面度の高い加工を実現。繰り返し再現性よく、高い品位と平面度の加工が可能です。

3.加圧設定は2段階(自動切り替え)
 の調整が可能。

加圧力は120kgfまで2段階(自動切り替え)設定できます。

4.平面加工、溝加工(深溝加工)が可能。

フェーシングユニットにより、高精度な定盤の平面加工と溝加工(深溝加工)を行うことができます。

5.プログラムの変更により
 定盤のR加工が可能。

プログラムの変更により、定盤のR加工も行うことができます(オプション)。

■フェーシングユニットと極低振動定盤

超高速反転で、高精度かつ高能率な加工が達成できます

■高剛性フレーム構造

従来にない高精度な平面度と高い加工レートを実現


オプション

■修正リング

■ワーク用セラミックリング

■冷却ユニット

■強制駆動装置


シリーズ

○超精密ラッピングマシン PLM-610

高能率なセラミックス、サファイア、SiCなどの半導体・電子材料の超平面ラップ加工に最適なコンパクトなモデル。数多くの製造実績を誇ります。

○超精密ラッピングマシン PLM-1750

大口径のセラミックスやサファイア、ガラスなどの超平面ラップ加工に対応したモデル。保有技術を応用すれば、最大φ2700サイズの面積まで対応したマシンの開発が可能です。


仕様
機種/項目 サイズ ワーク面板寸法 定盤サイズ 定盤回転速度 フェーシングユニット 機械本体重量
    mm mm min-1   ton
PLM 610 φ248×3 φ610 0~110 取り付け可能 2
2000 φ860×3 φ2000 0~30 取り付け可能 30

■内容・仕様等は、予告無く変更することがあります。又、説明の内容や写真はオプション仕様を含んでおりますので、御発注の際には、製作仕様書にて確認下さい。
■当サイトに記載されております機械精度・加工精度は、測定条件や加工条件に依って異なる場合があります。
■詳細は、仕様書等、技術資料をご請求ください。
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また設備をご検討のお客様には、テスト加工や工場見学を行なっております。
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