非球面ミラー・レンズ研削盤（ナノマシン） N2Cseries | 大型光学ミラー・レンズに対応

1.1nm、10nmのNC指令値に対する
　圧倒的な追従性、繰り返し再現性。
　「転写誤差ゼロ」を目指した
　究極のナノ研削加工機。

砥石軸、X,Y,Z軸などマシンを構成する基本軸の案内面には、長年のナノ加工機開発で徹底的に磨きかれた非接触多面拘束油静圧案内とリニアモータを採用。加工サイズ全領域でサブミクロンの運動特性と繰り返し再現性を達成しています。

2.加工点での剛性、繰り返し再現性を
　発揮する高度なマシン構造。

高脆性材料に対しても1nm、10nm単位の切込みを確実に行える高剛性かる超精密なマシン設計。機械の各ユニットは、可能な限り熱対象構造の原理を取り入れ、長時間の加工及び周辺温度環境の変化なども考慮に入れた高度な設計となっています。

3.世界に類のない超精密なインデックス、
　回転テーブル（OP）。

割出・回転加工に対応した超精密DDインデックステーブル（最小分解能2/100000°）、または超精密ロータリテーブルの搭載が可能です。油静圧案内技術を駆使した回転テーブルでは、重量のあるメータサイズのワーク加工においても抜群の精度を発揮。回転精度はアキシャル方向、ラジアル方向においてもサブミクロンを達成しています。

4.さらなる鏡面の追求を可能にする
「ゆらぎの影響ゼロ」を目指した新設計。

X,Y,Z軸のアクチュエータ駆動方式は、ナガセ独自のリニアモータ駆動方式またはボールネジから選択が可能。超精密リニアモータ駆動方式では高精度・高速な動作を実現。さらに「非接触案内＋非接触駆動」により、機械構造に起因する加工面への影響を極小に抑制。かつてないファインな品位を得ることができます。

5.外部摩擦の影響を徹底除去。

ナノマシン専用の高剛性スピンドルと極低振動モータ（独自開発・製造）を採用。さらに回転中の砥石のアンバランスの自動測定・修正ができる「バランスドクター（OP）」、独立基礎でも30nm〜50nm程度発生する外部擾乱を抑制するためにアクティブまたはパッシブ型の超精密除振システム「ナノスタビライザー（OP)」の搭載により、「限りなくゼロ」に近い鏡面品位の追求が可能です。

6.複合加工、機上計測にも対応。

砥石加工のほか、小径スピンドルユニットの搭載で超鏡面なミーリング加工、バイトホルダの搭載で超精密な微細加工が可能となります。さらに超鏡面品位を追求したい場合、磨きユニットの搭載が可能。超低振動な特性を有した仕様においては光学干渉計を取りつけての機上での表面形状測定等も可能です。

7.各種の砥石成形装置の搭載が可能。

Wカップツルア、縦・横型のロータリドレッサ、首振りドレッサなどの搭載が可能です。